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3660系列-通用型气体质量流量控制器

日本KOFLOC
3660系列质量流量控制器

 

3660系列设计精密,成本较低。广泛用于各个不同的领域

从实验室和研究开发项目 到各种仪器设备的标准采用机种

发挥了很好的实际效果,另外还有有各种衍生功能科选

目前上海建立维修售后中心,更快速度解决售后问题

气体质量流量控制器、质量流量控制器、气体流量控制器

气体质量流量计、质量流量计、气体流量计


性能参数

3660.jpg


3660

3665

量程(N2)

10SCCM-20SLPM

30-200SLPM

精度

±1.0%FS

±1.5%FS

有效范围

2-100%

5-100%

重复性

±0.5%FS

响应时间

2秒

3秒

动作压差

50-300Kpa

150-300Kpa

另有低压差、高压差产品可选,来电咨询

耐压

1.0Mpa

泄漏率

1*10-8pa·m³/s以下

温度范围

5-45

湿度范围

10-90%RH(不能结露)

材质

本体SUS316、SUS316L、磁性材料等

密封圈VITON,选配NBR或FKM

电气接口

DB9

模拟信号

0-5V输入/输出

供电

+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)250mA;

管路连接

标配1/4F9

标配3/8F9

选配1/8F9、1/4UJR、RC1/4

选配1/2F9、3/8UJR、RC3/8

重量

约1000g

约1500g


电气连接

针脚/颜色

定义

1针脚/棕色

阀门全开/全闭

2针脚/白色

0-5V输出

3针脚/红色

+15VDC

4针脚/黑色

电源COM

5针脚/黄色

-15VDC

6针脚/灰色

0-5V输入

7针脚/绿色

输出COM

8针脚/兰色

输入COM

9针脚/紫色

阀门电源输出


使用注明

一:进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用,保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。

二:用肥皂水对管路进行泄漏检测时,只能将肥皂水喷洒在管路接头上,不能喷在仪表或电气插头上。

三:在使用质量流量控制器的时候,进口前方加“ON/OFF电磁阀或手动切断阀”。

四:安装前,请将设备管路进行整体吹扫。

五:通气体时,请先开气源,后设定值。

六:切勿在没有通气的情况下,对流量控制器进行设定a。

七:使用完以后,请将流量控制器值归零或断电。

八:需要进行零点漂移清零的时候,确认进/出口没流量没压力下、设定值是0的状态 再操作。



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